【導師】馮飛，博士，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所研究員。

馮飛研究員長期從事微納機電系統(tǒng)（MEMS/NEMS）和微納傳感器研究。發(fā)明了可控XeF₂腐蝕技術，并成功用于光學讀出非致冷紅外探測器的單面制作，噪聲等效溫差0.12K，陣列規(guī)模120*160，獲得了人體的紅外圖像。首次提出含流線型微柱結構和直邊橢圓微溝道的微色譜柱，攻克了高深寬比和跨微納集成關鍵技術，研制出高效微色譜柱；攻克了隔熱微結構設計、制備關鍵技術，研制出高靈敏度微色譜檢測器?；谏鲜鲎匝械奈⑸V芯片，研制出我國首套深海MEMS氣相色譜儀并成功完成海試，獲得了深海溶解氣體的有效數(shù)據(jù)，海試獲央視、新華社等媒體報道；研制出芯片式氣相色譜中醫(yī)聞診儀樣機。

申請專利55件（授權35件）；在本領域著名國際期刊Sensor. Actuat. B-Chem.、Talanta、J. Chromatogr. A、Analyst及本領域論文高選擇性系列著名國際會議IEEE MEMS、IEEE Transducers發(fā)表論文70余篇。獲2020年度上海市技術發(fā)明一等獎（排名7/15）一項，參編專著《硅基MEMS制造技術》入選電子工業(yè)出版社2022“年度好書”。